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【制造/封测】3条8英寸,3条12英寸,华虹集团晶圆产线一览…

来源:全球半导体观察    原作者:张明花    

今年以来,全球范围的缺芯现象引起了社会各界对晶圆代工的重点关注。纵观大陆本土晶圆代工产业,除了龙头企业中芯国际外,华虹集团也举足轻重,近年来正不断蓄力、扩充产能。

01·诞生于“909”工程

华虹集团诞生于中国集成电路产业发展史上那次著名的“909”工程。

“909”工程是指20世纪90年代第九个五年计划之中,国家发展微电子产业重点工程的简称。1995年12月,国务院总理办公会议确定启动“909”工程,将投资100亿元建设一条8英寸、0.5微米超大规模集成电路生产线。1996年3月,国务院正式批准“909”工程项目立项。

图片来源:华虹集团官网

作为中国电子产业有史以来投资规模最大的国家项目,“909”工程选址落地上海,承建单位上海华虹微电子有限公司于1996年4月正式成立。1996年11月,上海华虹微电子有限公司超大规模集成电路项目奠基仪式在浦东金桥开发区举行。

工作班子已搭起,承建公司已成立,工厂也投入建设,但当时“909”工程还面临一系列问题,包括缺少核心技术、管理经验和技术人才等。为此,经国务院批准,上海华虹微电子有限公司与日本NEC公司进行技术合作。

图片来源:华虹集团官网

1997年5月,上海华虹微电子有限公司与NEC日本电气株式会社双方正式签订合资合同,决定成立合资公司。同年7月,上海华虹NEC电子有限公司(以下简称“华虹NEC”)正式成立,成为“909”工程的主体承担单位。同时,服务于这个工程的系列公司也先后成立,包括上海虹日国际、上海华虹国际、北京华虹集成电路设计公司等。

1998年10月,上海华虹微电子有限公司更名为上海华虹(集团)有限公司(即华虹集团),成为一系列子公司的投资管理型企业集团,但主体和标志性子公司仍为华虹NEC。1999年2月,华虹NEC建成投产,规模月产2万片。

图片来源:上海华力官网

2003年5月,华虹集团从日方收回华虹NEC委托经营权,转型Foundy,自此实现自主经营。2005年7月,经国务院批准,华虹集团所持华虹NEC股权划至华虹国际(开曼)公司,并在香港成立华虹半导体有限公司作为华虹NEC母公司。

2000年11月,上海宏力半导体制造有限公司开业(现华虹三厂)。2013年1月,华虹NEC和宏力半导体完成合并,成立上海华虹宏力半导体制造有限公司。

至此,华虹NEC停留在了历史,而华虹集团似乎正在把脚下的路走得越远越宽广。

02·沪锡两地,6个工厂

资料显示,华虹集团的控股股东及实际控制人为上海市国有资产监督管理委员会,股东构成为:上海市国有资产监督管理委员会持股51.59%、上海国盛(集团)有限公司持股18.36%、上海国际集团有限公司持股18.36%、上海仪电(集团)有限公司持股11.69%。

作为一家投资管理型企业,华虹集团旗下拥有华虹国际有限公司、上海华虹挚芯科技有限公司、上海虹日国际电子有限公司、上海集成电路研发中心、上海华虹计通智能系统股份有限公司、上海华力微电子有限公司(以下简称“华力微电子”)等一系列子公司。

图片来源:天眼查

其中,华力微电子联合国家大基金、上海集成电路产业基金成立了上海华力集成电路制造有限公司(以下简称“华力集成电路”)。

图片来源:天眼查

此外,华虹集团亦为香港上市公司华虹半导体有限公司(以下简称“华虹半导体”)的母公司及最终控股公司。

华虹半导体也是一家投资控股公司,旗下拥有由原上海华虹NEC电子有限公司和上海宏力半导体制造有限公司新设合并而成的全资子公司上海华虹宏力半导体制造有限公司(以下简称“华虹宏力”),而华虹宏力与国家大基金等共同组建成立了华虹半导体(无锡)有限公司(以下简称“华虹无锡”)。

图片来源:天眼查

总体来说,华虹集团旗下业务板块包括集成电路制造、电子元器件分销、智能化系统应用等,其中,集成电路制造业务主要有华虹半导体和上海华力两大平台,具体则由华虹宏力、华力微电子、华力集成电路、华虹无锡4家公司负责建设运营,拥有金桥、张江基地、康桥基地、无锡基地4个生产基地,共运营着3条8英寸生产线、3条12英寸生产线。

图片来源:全球半导体观察制图

2017年8月,华虹集团对旗下华虹宏力、华力微电子、华力集成电路的集成电路制造工厂予以统一编号命名,分别为华虹一厂(HH FAB1)、华虹二厂(HH FAB2)、华虹三厂(HH FAB3)、华虹五厂(HH FAB5)、华虹六厂(HH FAB6),后建的华虹无锡工厂则为华虹七厂(HH FAB7)。

华虹宏力(华虹一、二、三厂)

华虹宏力目前在上海市的金桥基地和张江基地运营有三条8英寸生产线,即华虹一厂、华虹二厂及华虹三厂。华虹宏力工艺技术覆盖1微米至90纳米各节点,包括有嵌入式非易失性存储器、功率器件、模拟及电源管理和逻辑及射频等差异化工艺平台。

华虹一厂(HH FAB1)

华虹一厂位于上海金桥基地,1997年启动建设,1999年2月建成投产,这是中国大陆第一条8英寸集成电路生产线,最先进工艺为95纳米。根据华虹半导体2020年年报,华虹一厂2020年8英寸晶圆月产能为65千片(65000片)。

华虹二厂(HH FAB2)

华虹二厂位于上海张江基地,2003年启动建设、2007年初建成,2007年9月实现量产。华虹二厂为8英寸生产线,最先进工艺为0.18微米。根据华虹半导体2020年年报,华虹二厂2020年8英寸晶圆月产能为60千片(60000片)。

华虹三厂(HH FAB3)

华虹三厂(HH FAB3)位于上海张江基地,2000年启动建设,2003年建成投产,亦为8英寸生产线,最先进工艺为90纳米。根据华虹半导体2020年年报,华虹三厂2020年8英寸晶圆月产能为53千片(53000片)。

华力微电子(华虹五厂)

华力微电子(华力一期)建设运营华虹集团旗下第一条全自动12英寸集成电路生产线,即华虹五厂(HH FAB5),是“909”工程升级改造项目。

华虹五厂位于上海张江基地,2010年1月启动建设、2011年4月建成投片,工艺技术覆盖55-40-28纳米节点,月产能达3.5万片。

华力集成电路(华虹六厂)

华力集成电路(华力二期)建设运营华虹集团旗下第二条12英寸集成电路生产线,即华虹六厂(HH FAB6),是“909”工程二次升级改造项目。

华虹六厂位于上海康桥基地,2016年11月启动建设、2018年10月建成投片,工艺技术覆盖28-14纳米节点,设计月产能4万片。

华虹无锡(华虹七厂)

华虹无锡由华虹宏力和国家大基金等合资设立,一期项目建设华虹集团旗下第三条12英寸集成电路生产线,即华虹七厂(HH FAB7)。

华虹七厂位于无锡基地,2018年4月启动建设、2019年9月建成投产,工艺技术覆盖90-65/55纳米节点,设计月产能4万片。根据华虹半导体2020年年报,华虹七厂2020年12英寸晶圆月产能为20千片(20000片)。

03·华虹八厂将至?

根据华虹集团官方信息,2020年该集团实现营收159亿元,同比增长21%。其中,集成电路制造主业收入19.25亿美元,同比增长约18%。2020年集团12英寸业务营收首次超过8英寸业务营收,12英寸产能已超过50%,制造产能(折算8英寸)较2015年翻一番。

值得一提的是,已拥有六个工厂的华虹集团似乎仍有意进一步扩大产能。今年1月,华虹集团董事长张素心在华虹集团2021年全球供应商年会上表示,今年是“十四五”规划的开局之年,华虹争取年内启动建设华虹八厂。

参考资料:《神秘的“909工程”:为何国家领导人说砸锅卖铁也要搞》(上观新闻,贾彦 宋晓东)
文章链接:https://www.jfdaily.com/staticsg/res/html/web/newsDetail.html?id=236680

封面图片来源:拍信网