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【IC设计】中国首台ASML NXT2000i正式入驻SK海力士无锡工厂

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此前,光刻机霸主艾司摩尔(ASML)中国区总裁沈波在中国集成电路制造年会上表示,今年下半年艾司摩尔已开始出货家族最先进的NXT2000i,很快会在中国市场上也见到。如今,该消息正式被证实。12月19日晚间,中国首台艾司摩尔NXT2000i正式搬入SK海力士位于无锡的工厂。

此前有消息称,艾司摩尔已经开始出货新品Twinscan NXT:2000i DUV(NXT:2000i双工件台深紫外光刻机),可用于7nm和5nm节点。

NXT2000i将是NXE3400B EUV光刻机的有效补充,毕竟台积电/GF的第一代7nm都是基于DUV工艺。同时,NXT2000i也成为了艾司摩尔旗下套刻精度(overlay)最高的产品,达到了和3400B一样的1.9nm(5nm要求至少2.4nm,7nm要求至少3.5nm)。

据了解,艾司摩尔今年的EUV光刻机产能将达到20台,明后两年将逐步提升到40台。有消息称,中芯国际已向艾司摩尔订购了一台EUV光刻机,预计明年交付,用于7nm节点。

另外值得注意的是,无锡是SK海力士在中国的DRAM内存芯片生产基地,目前月产能约为14万片/月。

此外,SK海力士还成立了SK Hynix System IC公司,开始进军晶圆代工市场。今年7月,SK Hynix还通过SK Hynix System IC(即“SHSI”)子公司跟无锡实业发展集团达成合作协议,双方合作成立了合资公司海辰半导体(无锡)有限公司。

其中,无锡实业发展集团占股49.9%,SHSI占股50.1%,双方将在无锡建设一座200mm晶圆厂,用于生产传感器、电源管理芯片等。今年11月,SK海力士再次透过子公司SHSI向无锡晶圆代工事业出资1,000万美元,但资金用途视厂房兴建计划而定。

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