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【材料/设备】日本半导体设备厂爱发科推出半导体设备表面处理技术,可提升设备良率

来源:全球半导体观察整理       

4月25日消息,据日经中文报道,日本半导体设备企业爱发科(ULVAC)已开始提供可提高半导体和显示器生产设备良品率(合格率)和耐久性的表面处理服务。

报道称,爱发科开发的耐腐蚀性表面处理技术「VACAL-Z」可在真空设备内部形成厚度为15微米左右的氧化铝覆膜。这种覆膜含有无数细小的孔隙,从而缓和应力,因此即便反覆暴露在高温下,覆膜也不易产生裂纹。因为不易生成裂纹,覆膜的耐腐蚀性可以得到保持,同时也避免了裂纹部分产生微尘的问题。这些微尘一旦覆盖在生产中的半导体表面,可能导致无法顺利形成电路。

VACAL-Z技术可应用于内部真空的反应室部件、加热器、气体扩散板等。

封面图片来源:拍信网