注册

【材料/设备】下代EUV光刻机要来了 炬光科技:是ASML核心供应商的重要供应商

来源:快科技       

1月25日消息,针对投资提问ASML的新一代光刻机EXE:5200是否使用了炬光科技的产品,炬光科技回应称公司是ASML公司核心供应商A公司的重要供应商。

炬光科技表示,公司为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件光场匀化器,是荷兰ASML光学设备核心供应商A公司的重要供应商。相关商用情况请以官方披露为准。

上周的Q4财报会议上,ASML公司确认将推出下一代的高NA EUV光刻机,NA值从0.33提升到0.55,进一步提高光刻分辨率,是制造2nm及以下工艺的关键设备。

Q4季度中,ASML公司还新增了71亿欧元的新订单,其中就有一套NA 0.55高数值孔径EUV光刻机的销售,这是ASML下一代光刻机,订购这个光刻机的是Intel,据说成本高达3亿美元,约合19亿元。

4年来Intel实际上已经下单了6台NA 0.55的EUV光刻机,其中分为两种,Twinscan Exe:5000系列主要用于工艺研发,产能输出是185WPH,每小时生产185片晶圆,2023年上半年交付。

量产型的NA 0.55光刻机是Twinscan Exe:5200,产能提升到200WPH,每小时200片晶圆,预计会在2024年下线,Intel的20A工艺正好是在2024年量产。

封面图片来源:拍信网