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盛美半导体设备研发与制造中心试生产

来源:全球半导体观察整理       

8月16日,盛美上海于临港举行“盛美半导体设备研发与制造中心试生产仪式” 。

据官微介绍,盛美半导体设备研发与制造中心(以下简称“盛美临港项目”)共有5个单体,包含两座研发楼、两座厂房和一座辅助厂房,建筑面积近13.8万平方米,其中厂房面积4万平方米,满产运行后预计将带来百亿产值。

盛美半导体设备(上海)股份有限公司成立于2005年,集研发、设计、制造、销售于一体,提供高端半导体设备,主要产品有单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备、前道涂胶显影设备及PECVD设备等。

封面图片来源:拍信网