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总投资1.5亿元,韩企BOBOO半导体零部件基地落户西安高新

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7月10日,“西安高新”官方微信公众号发布信息,7月9日上午,西安高新区与韩国BOBOO HITECH完成“BOBOO半导体关键零部件维修制造基地”合作备忘录(MOU)签约,双方相关负责人出席本次签约仪式。

BOBOO HITECH为韩国深耕三十年的半导体核心零部件专业厂商,产品长期配套三星、SK海力士等头部存储晶圆企业,在静电吸盘、加热盘等真空设备零部件维修、制造领域具备成熟量产技术,本次落地项目是西安高新区继艾洛特、新韩金刚石之后,又一落地的韩资半导体配套项目,完善本地晶圆制造耗材供应链体系。

项目总投资额1.5亿元,整体分为两期分步实施。一期规划投入5000万元,租赁约2000平方米标准厂房,核心业务覆盖半导体产线静电吸盘、加热盘等核心耗材的维修与本地量产,服务区域内晶圆制造工厂耗材运维需求;二期将追加1亿元投资,扩建厂区、扩充产线,全面放大零部件本地化交付产能。

产业配套层面,西安高新区依托本地三星存储工厂,已集聚一批韩国半导体上下游配套企业,形成存储芯片完整产业集群。BOBOO HITECH落地后,可就近为区内晶圆产线提供零部件维修与新品供货,缩短耗材交付周期、降低海外采购及运维成本。企业同步规划国内多地布局,除西安基地外,还筹备在大连建设配套厂区,完善对华整体供应网络。

公开信息显示,静电吸盘、加热盘是刻蚀、薄膜沉积设备的核心易耗零部件,长期依赖海外厂商供应,本地维修与量产基地落地,可填补西部半导体零部件运维配套短板。