东方晶源首台8英寸关键尺寸量测装备CD-SEM交付燕东微电子

4月1日，东方晶源微电子科技（北京）有限公司（以下简称“东方晶源”）宣布，东方晶源首台8英寸关键尺寸量测装备（CD-SEM）已于近日交付燕东微电子。这标志着公司自去年6月首台12英寸CD-SEM出机后，在电子束量测领域再次取得重要进展。

据官方介绍，东方晶源首台8英寸关键尺寸量测设备（型号：SEpA-c300）基于东方晶源12英寸关键尺寸量测设备的技术积累，面向90nm以上技术节点的成熟工艺，旨在破解8英寸晶圆代工厂该类设备短缺、二手设备性能指标及设备稳定性差等问题。

公开资料显示，东方晶源是一家国内电子束检测、量测设备厂商，专注于集成电路领域良率管理，自主研发出计算机光刻软件、电子束缺陷检测设备及关键尺寸量测设备三款产品。目前公司已经和国内大部分主要晶圆代工企业建立了合作关系。

据了解，东方晶源曾承担国家02重大专项—电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目并验收通过；首台套电子束缺陷检测设备（EBI）已完成产线验证并获得重复订单。东方晶源在电子束检测、量测领域已填补多项国内空白。