来源:全球半导体观察整理
4月1日,东方晶源微电子科技(北京)有限公司(以下简称“东方晶源”)宣布,东方晶源首台8英寸关键尺寸量测装备(CD-SEM)已于近日交付燕东微电子。这标志着公司自去年6月首台12英寸CD-SEM出机后,在电子束量测领域再次取得重要进展。
据官方介绍,东方晶源首台8英寸关键尺寸量测设备(型号:SEpA-c300)基于东方晶源12英寸关键尺寸量测设备的技术积累,面向90nm以上技术节点的成熟工艺,旨在破解8英寸晶圆代工厂该类设备短缺、二手设备性能指标及设备稳定性差等问题。
公开资料显示,东方晶源是一家国内电子束检测、量测设备厂商,专注于集成电路领域良率管理,自主研发出计算机光刻软件、电子束缺陷检测设备及关键尺寸量测设备三款产品。目前公司已经和国内大部分主要晶圆代工企业建立了合作关系。
据了解,东方晶源曾承担国家02重大专项—电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目并验收通过;首台套电子束缺陷检测设备(EBI)已完成产线验证并获得重复订单。东方晶源在电子束检测、量测领域已填补多项国内空白。