2021-06-15
日前，芯源微披露其定增预案，拟向特定对象发行股票数量不超过公司总股本的30%，即本 次发行不超过2520万股，募集总金额不超过10亿元（含本数）...
2021-06-10
NA值0.55的第2代EUV光刻机在当前研发阶段遭遇了瓶颈，使得原本预计最快2023年问世的时程，传出可能将延后到2025-2026年...
2021-06-10
中微公司官微消息显示，6月9日，中微公司在上海总部举办电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo nanova®第100台反应腔交付...
2021-06-04
6月1日，中国电科（北京）集成电路核心装备自主化及产业化建设项目主体结构正式封顶。该项目旨在打造国家集成电路装备创新平台，加快离子注入机、CMP...
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