2021-06-10
NA值0.55的第2代EUV光刻机在当前研发阶段遭遇了瓶颈，使得原本预计最快2023年问世的时程，传出可能将延后到2025-2026年...
2021-06-10
中微公司官微消息显示，6月9日，中微公司在上海总部举办电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo nanova®第100台反应腔交付...
2021-06-04
6月1日，中国电科（北京）集成电路核心装备自主化及产业化建设项目主体结构正式封顶。该项目旨在打造国家集成电路装备创新平台，加快离子注入机、CMP...
2021-06-02
6月1日，中微公司发布2021年5月投资者调研报告。中微公司称，公司主要盈利模式为从事半导体设备的研发、生产和销售，通过向下游集成电路、LED芯片、先进封装...
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