2021-06-11
近日，中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室提出一种基于虚拟边（Virtual Edge）与双采样率像素化掩模图形...
2021-06-10
NA值0.55的第2代EUV光刻机在当前研发阶段遭遇了瓶颈，使得原本预计最快2023年问世的时程，传出可能将延后到2025-2026年...
2021-06-10
6月7日，苏州赛郎特“电子特气智能设备和容器研发”项目签约落户中新苏滁高新区。赛郎特是一家专业从事电子级特种气体容器...
2021-06-10
中微公司官微消息显示，6月9日，中微公司在上海总部举办电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo nanova®第100台反应腔交付...
2021-06-09
据越城发布消息，6月7日，绍兴滨海新区管委会与西安电子科技大学举行合作协议签约仪式，双方将共建宽禁带半导体国家工程研究中心绍兴分中心...
2021-06-07
北京科益虹源光电技术公司日前发生了变化，注册资金从1.2亿元增加到2.02亿元，增长68%，新增投资人包括华为旗下的哈勃投资，占股4.76%，成为第七...
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